上海彌正氣體有限公司
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六氟化硫 (SF6)
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					 項目名稱  | 
				
					 純度指標(%)  | 
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					 六氟化硫  | 
				
					 ≥99.999  | 
				
					 ≥99.99  | 
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					 雜質(zhì)含量(ppm)  | 
				
					 空氣(Air)  | 
				
					 ≤5  | 
				
					 ≤30  | 
			
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					 水(H2O)  | 
				
					 ≤1  | 
				
					 ≤1  | 
			|
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					 四氟化碳(CF4)  | 
				
					 ≤4  | 
				
					 ≤30  | 
			|
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					 酸度(Acidity)  | 
				
					 ≤0.1  | 
				
					 ≤0.1  | 
			|
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					 可水解氟化物(以HF計)  | 
				
					 ≤0.1  | 
				
					 ≤0.2  | 
			|
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					 礦物油(Mineral Oil)  | 
				
					 ≤0.5  | 
				
					 ≤0.5  | 
			|
包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要,分裝到2-10L的氣瓶中。
用途:在半導體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源,不會產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品;
變壓器中的絕緣介質(zhì);
金屬冶煉中的保護氣氛;
	六氟化硫斷路器、互導傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體 
 電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體,廣泛應用于微電子技術領域 
 作為光導纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑 
 作為大氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)檢測領域的示蹤劑 
 肝臟腫瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途
理化性質(zhì): 六氟化硫(SF6)常態(tài)下是一種無色、無味、無嗅、無毒的非燃燒性氣體,分子量146.06,密度6.139g/l,約為空氣的5倍。是已知化學安定性最好的物質(zhì)之一,其惰性與氮氣相似。它具有極好的熱穩(wěn)定性,純態(tài)下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的電絕緣性和滅弧特性,相同條件下,其絕緣能力為空氣、氮氣的2.5倍以上,滅弧能力為空氣的100倍。六氟化硫的熔點為-50.8℃,可作為-45-0℃溫度范圍內(nèi)的特殊制冷劑,又因其耐熱性好,是一種穩(wěn)定的高溫熱載體。
注意事項:
密閉操作,局部排風。操作人員必須經(jīng)過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
儲存注意事項:儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。