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三氟甲烷 （CHF3)
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項目名稱 |
純度指標（%） |
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三氟甲烷 |
≥99.999 |
≥99.9 |
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雜質含量（ppm) |
水（H2O） |
≤3 |
≤10 |
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氧氣（O2） |
≤2 |
- |
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氮氣（N2） |
≤5 |
- |
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二氧化碳（H2SiF6) |
≤3 |
≤100 |
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酸度（Acidity) |
≤0.1 |
≤1 |
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包裝：采用40L、47L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途：用作電子工業(yè)等離子體化學蝕刻劑、低溫（-100℃）制冷劑及氟有機化合物的原料。
理化性質: 是一種無色、微味，不導電的低毒類氣體，是理想的鹵代烷替代物。高濃度三氟甲烷具有窒息麻醉作用，對腦神經有損害。液體接觸時可能引起凍傷。
注意事項：儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與氧化劑、易（可）燃物分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。
