上海彌正氣體有限公司
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                    | 
				 氣體名稱  | 
			
				 混合氣體  | 
			
				 混合比例  | 
		
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				 硅烷  | 
			
				 SiH4 / H2, N2, Ar, He  | 
			
				 100ppm ~99.9999%  |